从99%到100%，看似只是1%的进步，对于芯片制造厂的排气管道风阀而言，却是实现质的改变。芯片生产过程中，往往会产生少量的有毒有害气体，如何将这部分气体彻底排出车间，影响着生产车间的安全干净和生产效率，也关乎生产工人们的健康安全。

2020年落户通州湾示范区的江苏晨达半导体科技有限公司，就是为半导体生产工厂提供专业的制程排气系统工程服务，包括排气管道和风阀的研发、生产和安装等，是众多芯片大厂追“芯”路上的重要配套“伙伴”，该公司目前处于行业前三甲，服务对象包括中芯国际、长江存储、武汉新芯等。

“因为芯片厂里面有许多种毒气、酸碱或者有机化学品，在生产芯片的过程中，这些特殊气体和化学品必须从生产厂房里排出，所以就通过我们的管道排到室外，经过适当环保处理，达到环保法规的排气标准之后才能排到大气里。”江苏晨达半导体科技有限公司总经理高瑞祥说。

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据了解，该公司首创的将阀门叶片做三元乙丙胶热处理注模全面包覆工艺，借此达到以胶和叶片本体直接接触，以胶体本身之柔韧性，在承受2000psi之高气压下，保持叶片间隙不泄漏、胶体不脱落，最大化改善以往业界阀门气密性不良以及气密条容易脱落的缺点，让漏气量降到最低。“最让我们感到骄傲的是，自主研发的阀门产品达到国际气密标准的最高等级，而经上海同济大学实验室实测，泄漏率已经远超世界最高级水平，目前已积极申请国际认证。”高瑞祥说。

为了方便记者理解，高瑞祥特意在白色黑板上，画出了排气管道、风阀以及芯片厂排气设备的示意图，随后在风阀位置写下“短循环”三个字，高瑞祥告诉记者，一般排气管联通多个风阀，排气过程中会有一个风阀关闭，如果气密性达不到100%，这个即使关闭的风阀也会倒吸入一部分有毒有害气体，不利于充分排出气体，同时造成能耗的浪费。

在高瑞祥看来，风阀气密性从99%到100%，这仅仅1%的进步，对于芯片厂管道排气而言至关重要，同时也为江苏晨达带来可观的经济效应。风阀在整个排气管道系统的占比面积仅十分之一，提升1%却意味着风阀的价值却翻了5-10倍。高瑞祥告诉记者，以前风阀都依赖进口，如今实现自主研发生产后，成本降低到原来的三分之一，对于芯片厂而言无疑吸引力巨大，同时这也是江苏晨达得的市场竞争力所在，今年销售有望超6000万元。

“风阀本来是金属对金属，可能因为金属的特性，没办法完全气密，所以我们就想是不是在外面用软性的胶把它包覆起来，两个夹起来后就会完全密合了。”高瑞祥告诉记者，这项研发创新用时半年，是公司员工们思维碰撞而产生，经过第三方实验确实可行。目前，已申请了方形和圆形两种风阀专利。

随后，高瑞祥又带着记者感受真实的排气管道风阀，记者看到不锈钢结构占据着排风管道的大部分体积，而圆形的风阀完全密合着，看不见阀门的缝隙。“透过风阀看，光线是无法照过来的。”高瑞祥颇为自信地说。除了风阀，管道还需要具备耐热、防酸和防腐蚀等特性，看似不复杂的结构，却也藏着不少“黑科技”，据统计，江苏晨达自2020年落户以来，已累计获得17项专利。目前，江苏晨达也在积极申报省高新技术企业。

今年57岁的高瑞祥从事半导体行业已有30多年，依旧希望在这条赛道上散发自身光热，并给江苏晨达和自身制定了明确目标：“接下来，我们还将进行生产工艺的创新，希望把芯片厂的环保处理设施也纳入进来，形成更加系统的排气系统体系，拿出一套整体解决方案，整体成本降低的同时，生产效率变得更高。”

扬子晚报/紫牛新闻记者 朱亚运 通讯员 陈玲丽

校对 徐珩

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